Overzicht van het actieve trillingsisolatieplatform

STACIS ® III is een flexibel actief trillingsisolatiesysteem. Het STACIS actieve isolatieplatformsysteem maakt gebruik van geavanceerde inertieve trillingssensoren, geavanceerde regelalgoritmen en piezoelektrische actuatoren om de grondbeweging te filteren door continu de grondactiviteit te meten en vervolgens de piezoelektrische actuator uit te breiden en te krimpen om trillingen in realtime te elimineren.

STACIS** is oorspronkelijk ontworpen voor het isoleren van nauwkeurige micrografie-, metings- en inspectieapparatuur in geavanceerde halfgeleiderfabrieken, en is nu de industrie-standaard oplossing voor gevoelige instrumenten** in lawaaierige omgevingen, waaronder, maar niet beperkt tot, halfgeleiderfabrieken, foutanalyselaboratoria, nanotechnologieonderzoek, nanoproductiefaciliteiten en materiaalonderzoekscentra.

Het STACIS III actieve trillingsisolatieplatformsysteem bevat een nieuwe en verbeterde digitale controller DC-2020. Dit nieuwe ** besturingssysteem beschikt over een nieuwe dual-core processor, Ethernet en een USB-seriepoort op het voorpaneel en het achterpaneel en biedt gebruikers een moderne en gebruiksvriendelijke grafische gebruikersinterface (GUI). Met honderden succesvolle installaties wereldwijd is STACIS het ideale isolatiesysteem voor trillingsgevoelige instrumenten.

Voordelen van het actieve trillingsisolatiesysteem STACIS III

STACIS is honderden keer harder dan een luchtisolator en heeft geen beperkingen van een luchtisolatiesysteem. Het heeft geen "zachte" ophanging en, in tegenstelling tot een actief luchtsysteem, kan STACIS onder een gereedschap worden geplaatst met een intern actief luchtisolatiesysteem, zodat beide systemen in een ** staat werken.

Uniek serieel ontwerp en gepatenteerde hoogkrachtige piezoelektrische technologie voor een brede actieve bandbreedte van 0,6 Hz***150 Hz en een actieve trillingsisolatie van 90% vanaf 2 Hz**.

Kenmerken van het actieve trillingsisolatiesysteem STACIS III

▪ ** Nieuwe verbeterde DC-2020 digitale controller met een gebruiksvriendelijke grafische gebruikersinterface

▪ Isolatie begint bij 0,6 Hz en bereikt 40%***70% isolatie bij 1 Hz

▪ Verticale en horizontale isolatie groter dan 90% bij frequenties van 2 Hz en hoger

▪ Reduceer de infrastructuurvereisten en de bouwkosten, zelfs met grotere externe trillingsapparatuur

▪ Effectief isolatiebereik, 0,6 Hz tot 150 Hz

▪ Brede erkenning en erkenning van veel gebruikers

▪ 6-richting harde installatie zonder luchtvering

▪ Krachtig besturingssysteem zonder regelmatige herkalibratie

▪ Point-of-use ontwerp voor naadloze compatibiliteit met bestaande trillingsisolatiesystemen van de klant

▪ Naarmate de externe omgeving verandert, wordt het systeem automatisch aangepast aan verschillende externe trillingssituaties

▪ Stacis van TMC ® Technologie met behulp van piezoelektrische actuator actieve demystificatie

▪ Digitale controllers en PC-gebaseerde grafische gebruikersinterface (GUI)

▪ Verbetering van de klantproductie, kwaliteit en voltooide productie.

▪ Voldoet aan RoHS-normen

▪ ** Brede actieve isolatie bandbreedte, ** lage frequentie isolatie effect

▪ Active vibratie-eliminatie van Yahrtz ** isolatie voornamelijk in de 0,6-6Hz band

▪ Stapelbaar ontwerp

▪ Actieve harde installatie in plaats van zachte suspensie, geen lage frequentiedrift, actieve componenten verbonden met stijve veren

▪ De passieve veer filtert de belastingsresonantie van de STACIS-sensor en vereist zeer weinig afstemming, zelfs geen afstemming

▪ Compatibel met de interne isolator van het instrument vanwege de incompatibiliteit van de impedantie

▪ Belasting tot 2000kg

▪ Actief trillingsisolatiesysteem op de markt**

Prestaties van actief isolatieplatform

Testen van een nuttige lading van 4.500 pond (2.045 kg) met behulp van een simulatie van trillingen met VC-C (500 μin/s, 12,5 μm/s RMS)

Specificaties van actief isolatieplatform

Prestatie specificaties

Gebruikers en toepassingsgebieden van STACIS

1. microelektronica, halfgeleiders

▪ Chip detectie

▪ Microscopische techniek

▪ Kalibratie masker

Wetenschappelijk onderzoek, nanotechnologie

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3 De laserstand

▪ Biowetenschappen, Geneesmiddelenontwikkeling

4 Industriële toepassingen

▪ Precisiebewerking

Waarom kiezen voor een actief isolatiesysteem?

▪ De grondtrillingen worden sterk geëlimineerd vanaf <1Hz en het pneumatische platform kan geen effectieve isolatie spelen bij deze lage frequentie

▪ Verbeterde kwaliteit en productiviteit

▪ Beeldvormingsmogelijkheden voor kleinere kenmerken

▪ Frontier onderzoek

▪ Stabieler dan pneumatisch platform

▪ ** Oplossingen die voldoen aan SEM-standaard installatieparameters op locaties

▪ Nieuwe laboratoria- en onderzoeksapparatuur lager te bouwen

Waarom kiezen voor STACIS

▪ Het is in het hart van de wetenschappers en biedt zo ** mogelijk een schokkenvrije omgeving.

▪ ** Robuuste lage frequentie isolatiesysteem op de markt.

▪ Op dit moment hebben alle SEM-fabrikanten de vereisten voor installatieparameters gepubliceerd, waaraan de vereiste trillingsparameters moeten worden voldaan door een actief trillingsisolatiesysteem.

▪ STACIS** is uitgevonden in de jaren 1990 en is verder ontwikkeld, ontwikkeld en geïnstalleerd door TMC met duizenden actieve trillingsisolatiesystemen, een betrouwbare oplossing voor het gebied van actieve trillingsisolatiebeheersing.

STACIS is honderden keer stijver dan pneumatische isolatoren

Stabiliteitstijd als reactie op verstoringen, sterk verkort dankzij een uniek serieel ontwerp, ideaal voor machines, dynamische belastingen, lasers of zelfstandige stijve tafels waar een lichtbron moet worden geïnstalleerd.

De volgende voordelen zijn in de industrie **

▪ STACIS actieve isolatiebandbreedte van 0,6 Hz tot 150 Hz

▪ 6 graden vrijheid actieve trillingen elimineren, trillingen 8-10dB bij 1Hz

▪ Isolatie tot 90% (20dB) bij 2-3Hz

Professioneel milieuonderzoek

Omgevingsonderzoek voor en na de installatie, inclusief trillingen, magnetische velden en geluidsgolven

Na de installatie kan het milieusysteem worden gecertificeerd

▪ Uitgebreide milieuonderzoeksdiensten

▪ Professionele milieurapporten opstellen

▪ Detectie en oplossingen voor trillingen, magnetische velden en geluidsgolven

▪ TMC beveelt gebruikers praktische oplossingen aan op basis van zijn uitgebreide ervaring

▪ Meer dan 40 jaar ervaring in de industrie **

Toepassen van foto's