Atonarp Procesbeheersingsmassaspectrometer Aston ™ Technische specificaties:

Universeel gereedschap voor realtime procescontrole, corrosiebestendig tegen gassen, anticondensatiebestendig
In situ platform voor moleculaire analyse voor halfgeleiderfabriek met real-time, bruikbare gegevens
Plasma-ionisatiebron, draadloos, duurzamer
Volledig geïntegreerd met massaproductiegereedschappen
Aston ™ ProcessspectroanalysatorAls een krachtig platform kan het een verscheidenheid aan traditionele gereedschappen vervangen en biedt ongekende niveaus van controle, waaronder lithografie, etzen en afzetting van elektroden en geleiders, kamerreiniging, kamermatching en -ontbinding.

Aston ™ ProcessspectroanalysatorTechnische parameters

Atonarp Aston™ Toepassing: Belangrijke ontwikkelingen in de controle en optimalisatie van halfgeleiderprocessen om de opbrengst, doorvoer en efficiëntie van halfgeleiderfabricatieprocessen te verbeteren
Aston ™ Een nieuw ontworpen, robuuste, compacte online massspectrometer voor gasmonitoring en -controle in halfgeleiderfabriek en industriële procesbeheertoepassingen, gecombineerd met hoge kwantitatieve nauwkeurigheid en realtime met productierechtbaarheid en betrouwbaarheid, zoals analyse van uitlaatgasdetectie voor drooge halfgeleiderpompen, voor online monitoring en diagnose.
CVD / ALD: Oxide-nitride overgang en samenstellingsanalyse
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: het identificeren van traceringsmoleculen


Als u meer wilt wetenAtonarp Aston ™ Online massa spectrometerVoor meer informatie of discussies, raadpleeg de volgende contactgegevens:
Shanghai Betong: Mevrouw Ye Taiwan Betong: Mevrouw Wang
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( WeChat gelijke nummer ) M: +886-939-653-958

Sommige merken werven oprecht samenwerkingsagenten in, belanghebbenden zijn welkom om contact op te nemen met Miss Betong Ye van Shanghai 1391-883-7267
Alle auteursrechten voorbehouden, kopiëren!