De micro-druksensor CYG503 met een nominale afmeting van 3 mm buitendiameter is ontworpen voor het meten van een uitstekende dynamische drukverdeling in aerodynamische onderzoekstests die kleine installatieafmetingen vereisen, zonder het stroomveld te verstoren en dynamisch te reageren. Toegepast voor het bepalen van de aerodynamische prestaties zoals de drukvervorming van de luchtwegen van de motor, de ademhaling enz.

De drukgevoelige componenten van de CYG503 zijn ontworpen en vervaardigd met geavanceerde MEMS-technologie (Miro Electronic Machinical Systems). Driedimensionale geïntegreerde, dubbelzijdige bewerkte drukgevoelige elementen van silicium met een uitstekende lineaire nauwkeurigheid, ionische injectie en de hoge consistentie van de Whiston-spanningsbrug gemaakt met de fijne lithografietechnologie zorgen voor een kleine temperatuurdrijf, micro-mechanische bewerking, en de nauwkeurige, heterogenee corrosievormende krachtgevoelige structuur van silicium met een hoge drukgevoeligheid en een radiële schaal van minder dan 1,5 mm. De geavanceerde miniatuur van de drukgevoelige chip maakt gebruik van spanningsvrije verpakkingstechnologie en is afgedicht verpakt in een speciaal gemaakt micro-installatiebasis en een roestvrijstalen capillair. De absolute druksensor referentiedrukholte is een vacuümholte die op de achterkant van de chip wordt afgedicht, en de referentiedrukholte van de supradruksensor wordt van de achterkant afgeleid door een dunnere roestvrijstalen capillaar die communiceert met de atmosfeer. Ook om de gebruiker gemakkelijk te maken om een ​​stabiele drukreferentie te verkrijgen, wordt het geleid naar de luchtdrukstabiliteit met behulp van een fijne nylonbuis.

De CYG503A micro-druksensor is in de vorm van een sonde met een standaard buitendiameter van Ф3.5mm en een lengte van 18mm. De speciaal gemaakte korte kolomvormige CYG503AS verkort de lengte tot 12mm. Optionele bereiken zijn 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa absolute druk.

De CYG503G micro-druksensor is in de vorm van een sonde met een standaard buitendiameter van Ф3,5 mm en een lengte van 18 mm. De lengte van de terugdruk-uitvoer is 12 mm. De optionele omvang is 160, 250, 400, 600, 1000, 1600 en 2500 kpa.

Het ontwerp en productie patent van CYG503 heeft een nationale uitvindingspatentlicentie gekregen, het patentnummer is:.3.

CYG504 micro-schroef installatie druksensor is voor het gemak van sommige gebruikers om het gebruik van de vereiste CYG503 afgeleide variëteit, absolute druk, meter druk zijn beschikbaar. De afmetingen zijn te zien in de bijlage.

CYG503、 De type 504-sensor is vanwege de frontale druk van gevoelige elementen alleen geschikt voor droge gassen die niet corrosief en niet geleidend zijn. Maar het heeft een vrij brede werktemperatuurzone en een zeer goede dynamische frequentie. Dynamische reacties kunnen worden gebruikt tot nul frequenties en tot tientallen duizenden hertz. Een verhoogde bescherming van het oppervlak kan de toepasbaarheid van het medium verbeteren, ten koste van de frequentie-respons-eigenschappen.

1, prestatie indicatoren parameters

Volledige uitgang: minimale waarde 30mv typische waarde 80mv maximale waarde 130mv

Input-output impedance: minimale waarde 3 kΩ typische waarde 5 kΩ maximale waarde 7 kΩ

Input werkstroom: 1.5mA (meterspanning) 1mA (absolute spanning) (constante stroombron)

Werktemperatuurbereik: -55 ℃ ~ + 120 ℃

Compensatie temperatuurbereik: -10 ℃ ~ + 80 ℃

Overbelasting: 200% van het nominale bereik

Versnellingsgevoeligheid: < 0,001% FS / g

9, afmetingen: