Overzicht

Halfgeleiderproductiefabrieken, nanotechnologiecentra, nanofabrieken en andere nauwkeurige productie- en onderzoekscentra combineren vaak schone kamers met actieve nep-grondsystemen om aan complexe faciliteitsvereisten (leidingen, kabels, gasleidingen, enz.) te voldoen en strenge schoonheidsnormen te handhaven. Deze grond is niet geschikt voor productie-, test- en meetapparatuur die gevoelig is voor trillingen. De bewegende grond kan niet de noodzakelijke rustige trillingsomgeving voor deze gereedschappen bieden. TMC's Quiet Island biedt een innovatieve oplossing door een deel van het actieve grondgebied te vervangen door een "rustig eiland" vast aan de ondergrond. Quiet Island bestaat uit een platform bovenkant die compatibel is met een schoonruimte en een applicatie- en terreinspecifieke ondersteuningsstructuur.

Ontmoediging

De belangrijkste ondersteunende componenten en kerntechnologieën van Quiet Island** zijn geïntegreerd in het STACIS III actieve demystallisatiesysteem. Dit "stijve" inertieve trillingsdempende steunsysteem is ideaal voor elk trillingsgevoelig instrument en stelt dit soort gereedschap in staat om op hoge standaarden te werken in lawaaierige omgevingen. STACIS III is compatibel met geautomatiseerde waferbewerkingswerktuigen, gereedschappen voor het beeldvormen van elektronenstralen met hoge resolutie, gereedschappen voor het freezen van ionstralen en elk gereedschap met een passief of actief intern isolatiesysteem (zie ons witboek over het stapelen van actieve isolatoren op actieve isolatoren). Bovendien biedt het trillingsisolatie in een breed frequentiebereik. En het "harde installatie" ontwerp is erg hard, dus er zijn geen stabiliteitsproblemen voor hogere, lichte gereedschappen.

Standen en steunen

De uiterst robuuste en duurzame buizen voor de ondersteuning van STACIS-isolatoren zijn ontworpen door het ervaren ingenieursteam van TMC en zijn vervaardigd in onze ISO 9001-fabriek volgens hoge normen en gecertificeerde specificaties voor lassen. Elk Quiet Island is zorgvuldig ontworpen voor een verscheidenheid aan activiteiten op de hoogte van de grond, de geometrie van de bodem en de grootte van het gereedschap. TMC heeft wereldwijd duizenden installaties die meer dan 200 verschillende instrumentenmodellen ondersteunen en beschikt over de kennis en ervaring om ondersteunende structuren te ontwerpen die voldoen aan de behoeften van STACIS en uw faciliteit.

Stief platform

Het platform bestaat uit een door TMC ontworpen en vervaardigde, 4 inch (100 mm) dikke stalen plaatonderligging, waarin een stalen plaat wordt vastgehouden rond een licht, niet-comprimbaar, dempend kernmateriaal. Het gelaagde effect van het kleven van stijve stalen platen en kernen met epoxyhars aan een naadloze roestvrijstalen plaat biedt een zeer hoge stijfheid en structurele demping. Grote doorsneden en staalgehalte zorgen voor een zeer hoge algehele stijfheid. Boven en aan de zijkant is een continu in één roestvrijstalen behuizing voor schoonheid, esthetiek en integriteit. TMC kan toepassingsspecifieke platforms ontwerpen en produceren zoals nodig, met inbegrip van snijden, speciale vormen, vaste gaten en hangende ringbouten.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Voordelen van Quiet Island

Compatibel met instrumenten met actieve piezoelektrische trillingsdemping van STACIS - TMC Industrie**, harde installatie en isolatie vanaf 0,6 Hz met ingebouwde isolatoren.

Flexibiliteit voor modulariteit, aanpassing en herpositionering - Elk platform is afgestemd op de toepassing van de klant, maar in tegenstelling tot betonplatforms die gemakkelijk kunnen worden geconfigureerd als gereedschap of grondeigenschappen veranderen.

Expertise - TMC heeft ruime ervaring met halfgeleiderfabrikanten, onderzoeksinstituties en ultraprecisie OEM's van ***. We begrijpen onze klanten en hun behoeften. Wij ontwerpen en produceren zelf.

prestaties

Op 24 inch hoog, 40 inch x 60 inch Quiet Island, 4 STACIS-standen,
Meting van de doorbrengst onder de VC-C-ingang vanaf de grond

Specificaties

Prestatie specificaties

Ontwerp, afmetingen, omgeving en gebruiksvoorwaarden voor de isolator

DC-2020 Controller Specificaties

Overige parameters

OverigeQuiet Island instellingen

Grote instrumenten die geen omgevingswivelspecificaties hebben, hebben meestal een stijve en stabiele steun nodig die gescheiden is van de bewegende grond. Stief Quiet Island is de ideale oplossing. De stijve Quiet Island beschikt over dezelfde hoogwaardige plattformtop en kan ook op maat worden ontworpen voor bewegende grondreinigingsruimtes van elke hoogte, elke ondergrondsgeometrie en verschillende gereedschapsgrootten. TMC biedt een reeks verschillende soorten pijlers om aan verschillende behoeften te voldoen, waardoor een modulaire, flexibele oplossing wordt gevormd die specifiek is voor instrumenten en fabrieken.

Toepassen van foto's

Dankzij de installatie op ons Quiet Island ® De complexiteit, gevoeligheid en waarde van apparatuur op het ondergrondse platform, we hebben geen standaard catalogus gemaakt voor bestellingenNee.

We zijn van mening dat elk platform op maat moet worden ontworpen voor een specifieke toepassing. De aanbevolen bestelstappen zijn als volgt:

▪ Vertel ons welk apparaat of instrument u wilt isoleren. Omdat we duizenden apparaten hebben geïnstalleerd, hebben we waarschijnlijk al een platformontwerp dat voldoet aan de vereisten van uw applicatie. Daarnaast onderhouden we nauwe contacten met fabrikanten van stappers, uitlijners, SEM en andere gereedschappen, zodat we op de hoogte zijn van nieuwe afmetingen, vormen, gewichtsveranderingen en grondtrillingsspecificaties.

▪ Of misschien wilt u een platform dat geschikt is voor een actief grondnetsysteem. Klanten kiezen meestal voor een platform van 47 x 47 inch (1.190 x 1.190 mm) om het even aantal vloertegels te vervangen.

▪ Vertel ons hoe hoog uw activiteiten zijn boven de vaste grond.

▪ Beschrijf of geef ons een illustratie die een gat patroon in uw ondergrond of stalen balk / raster geometrie toont.

▪ Geef ons gegevens over grondtrillingen of bespreek met ons hoe u deze gegevens kunt meten.

▪ Overweeg de trillingsgevoeligheid van het instrument. Onze stijve, niet-resonante pijlers bieden voldoende ondersteuning voor veel gereedschappen. Gevoeligere toepassingen vereisen lucht- of piezoelektrische ondersteuning