In veel ultrazuivere gastoepassingen, zoals in de halfgeleiderindustrie, is het resterende vocht in het gas van cruciaal belang voor de goede werking van de procesbehandeling. Het meten van vochtigheid is altijd moeilijk geweest en vereist complexe vochtigheidsanalyseapparaten of dure analysetechnieken. Echter, MISSELL instrumenten hebben momenteel een eenvoudige, economische en redelijk effectieve oplossing op de markt voor het meten van dauwpunten online, met een onderste grens tot een verbazingwekkende -120 ° C (gelijk aan minder dan 1 ppb).De V). Pura Transmitters zijn gebaseerd op jarenlange ervaring in de productie en verificatie van impedantiesensoren voor dauwpunten en combineren standaard geïndustrialiseerde materialen en productieprocessen om de eerste goedkope transmitters voor de halfgeleiderfabricatie en ultrazuivere gastoepassingen te ontwikkelen. Hoogtepunten Meet ondergrens -120°C Dauwpunt (1 ppb)De V) Stabiele meting, goede herhaalbaarheid Uitstekend geïntegreerde bemonsteringsapparatuur Analoog en digitaal output Eenvoudige installatie VCR-procesinterface Compact en klein ontwerp Display/alarm-eenheid optioneel
Technische indicatoren
Sensoren Type sensor Misel keramische vochtigheidssensor Afmeting -120 ~ -40°C Dauwpunt (gecontroleerd tot -100 ~ -40°C) Nauwkeurigheid ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (schatting) Resolutie 0,1°C -40 ~ -79,9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 tot 3°C -100 tot -120°C druk Minimaal 10-9 torr; Maximaal 24 MPa Gasstroom 1 tot 5 Nl/min Elektrische Stroomvoorziening Normaal gesproken 24 V DC, minimaal 10 V tot maximaal 28 V, maximale stroom 25 mA Uitgang 4-20 mA-uitgang, het bereik kan worden aangepast door speciale software, het bereik kan worden aangepast van 1 tot 80°C (standaard beschikbaar) Maximale belasting = 100 Ω + 50 Ω x (V-voeding -8) Uitvoerfoutstatus De foutmelding van de standaarduitgang is als volgt: 23 mA = sensorfout; 20 mA = bovengrens; 4 mA = boven de ondergrens Mechanische eigenschappen Sensorhoes Roestvrij staal, 0,1-0,2 Ra µm galvanisatie Luchtweg verbindingspoort Premium of OEM: ¼' m VCR-aansluiting Pura Sensor Type: ½' m VCR-aansluiting Installatieconfiguratie Premium of OEM: 120,00 mm lang, eindafdichting van de luchtweg poort. Geen leidingsleegte nodig 2 M4 x 0,7, 7 mm diepe monteringsgaten op de basis met een 20 x 20 mm afstand Type Pura Sensor: geschikt voor ½' VCR-poorten die door de gebruiker worden verstrekt Afmetingen Premium of OEM: 120 x 35 x 150 mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm gewicht Premium of OEM: 450 g Pura Sensor 型: 180g Verpakking Pura: Dubbele verpakking, afdichting met inert gas Pura OEM of Pura Sensor Type: Eenlaagse verpakking Alle optionele accessoires: onafhankelijke verpakking Sensor-type met eigen bescherming aan de kant van de sensorchip voor transport en bediening