Triionische straltechnologie

De delen van de drieionische straal liggen verticaal op het zijoppervlak van het monster, dus het monster (vastgesteld op het monsterblad) hoeft geen schommelbeweging te doen bij het bombarderen van de ionische straal om het projectie- / blokkeringseffect te verminderen, wat op zijn beurt een effectieve warmteoverdracht garandeert en het monster tijdens de behandeling aan warmtevermorging vermindert.
Technologie
De drieionische straal verzamelt zich op het middenpunt van de rand van het voorblad en vormt een 100 ° bombardementventilator en snijdt naar het monster dat boven het voorblad is blootgesteld (de bovenkant van het monster is ongeveer 20-100 μm hoger dan het voorblad) totdat het bombardement het doelgebied binnen het monster bereikt. De nieuw ontworpen ionpistolen genereren een ionstraalsnelheid van 300 μm/h (Si10 kV, 3,0 mA, 50 μm snijhoogte). Het unieke Leica-drieionstraalsysteem zorgt voor een uitstekende snijdsectie van hoge kwaliteit en een hoge snelheid met een breed en diep snijplaats, waardoor een aanzienlijke besparing van werktijd wordt geboekt. Deze unieke technologie zorgt voor hoogwaardige snijsecties van maximaal 4 x 1 mm

Leica EM TIC 3X - innovatieve kenmerken voor ontwerp en bediening

Hoge throughput, verhoogde kosten
››Beschikbaar voor hoogwaardige snijsecties met een oppervlakte van > 4 x 1 mm
››Meerdere monsters kunnen worden ontworpen voor drie monsters tegelijkertijd
››Hoge ionische slijpsnelheid, Si-materiaal 300 μm / h, 50 μm snijhoogte, kan voldoen aan de vereisten van het laboratorium voor hoge doorstromingen
››De grootste steekproefgrootte die kan worden opgenomen is 50 x 50 x 10mm
››Een breed scala aan gebruikbare monster dragers, eenvoudig te gebruiken en met hoge nauwkeurigheid
› Eenvoudig en nauwkeurig kalibreren voor het monteren van monsters op de drager en het aanpassen van de positie ten opzichte van het voorpaneel
› Eenvoudige bediening via touchscreen zonder speciale bedieningsvaardigheden
››Het monsterbehandelingsproces kan in realtime worden bewaakt en kan worden bekeken via een telespiegel of een HD-TV-camera
› LED-verlichting voor het observeren van monsters en het kalibreren van locaties
› Ingebouwd, ontkoppeld vacuümpompsysteem voor een trillingsvrij zicht
›› Het kan worden uitgevoerd op een voorbereide vlakke snijsectie voor de versterking van de bekleding, dat wil zeggen de behandeling met ionstralen.
› Upload of download van parameters en programma's via USB
› Geschikt voor bijna elk materiaalmonster
››Met een bevroren monstertafel kan de schermtemperatuur en de monstertemperatuur tot –150°C worden verlaagd

Verscheidenheid aan monsters

Geschikt voor monsters van bijna alle afmetingen en geschikt voor een breed scala aan toepassingen. Bij het gebruik van één monsterhoud kan de voorafgaande mechanische voorbereiding (Leica EM TXP) tot het snijden van de ionstraal (Leica EM TIC 3X) en de SEM-inspectie worden voltooid voordat ze in de monsteropslag worden geplaatst voor de volgende inspectie.

Verbeterde voering

Na het snijden van de ionstraal, hoeft het monster niet te worden verwijderd, met dezelfde monsterbedrijf kan het monster ook worden versterkt door het effect van de bekleding, waardoor de topologie van de verschillende fasen in het monster kan worden versterkt (zoals de kristalline grenzen)

Hoge nauwkeurigheid

Nu krijgt de steeds kleinere detailstructuur in het monster geleidelijk aandacht. En het verkrijgen van doorsneden door het snijden, zoals het verkrijgen van een kleine TSVia gat structuur, is gemakkelijk geworden. Alle steekproefstanden zijn ontworpen voor een nauwkeurigheid van ±2 μm. Niet alleen kan de controlenauwkeurigheid van de steekproefstafel zo'n nauwkeurige doelpositiekalibratie bereiken, maar het observatiesysteem kan ook de details van een minimum van ongeveer 3 μm observeren voor een nauwkeurige doelpositie. Om het monster beter te kunnen bekijken bij het positioneren, helpen 4-split LED-ringlichtbronnen of LED-coaxiale verlichting om gebruikers te helpen een helder beeld te krijgen van een telespiegel of een HD-TV-camera.
Omdat de vacuümpomp in het instrument is ingebouwd, hoeft er geen ruimte meer vrij te maken. Dankzij het ontkoppelde ontwerp van de vacuümpomp wordt het zichtveld tijdens de voorbereiding van het monster niet verstoord door trillingen van de vacuümpomp.