Silicaan is een belangrijk nieuw materiaal product, wijd gebruikt in LCD-schermen, halfgeleiders, zonne-energie en andere industrieën, met de ontwikkeling van Chinese halfgeleiders en andere industrieën, de binnenlandse vraag naar silicaan neemt toe, maar omdat de technologie van de binnenlandse silicaanproductie in de beginfase is, hoe de zuiverheid van silicaan te analyseren is een onderwerp dat elke producent moet worden geconfronteerd.
Het is bekend dat de analyse van hoogzuivere gassen een ingewikkeld proces is en een van de moeilijkheden van chromatografische analyse; Silicaan vanwege de bijzonderheden van zijn fysische eigenschappen, kan de moeilijkheid van de analyse moeilijker worden, niet alleen een hooggevoelige detector nodig, maar ook het probleem van zuurstofverbranding van silicaan op te lossen.GC-9560-HG helium-ioniseerde gaschromatometerHet overwinnen van tal van technische moeilijkheden in het proces van silicaananalyse, het gebruik van een hoge gevoeligheid helium ionisatie detector, uitgerust met een speciaal silicaan monsterneming systeem, goed voltooid de analyse van sporen van onzuiverheden van het ppb-niveau in silicaan.

Toepasselijke criteria:

• GB/T 15909-2009 - Silicaan voor elektronische industrie

GC-9560-HG Silicaananalyse Helium IonisatiegaschromatometerGeschikt voor de detectie van sporen van onzuiverheden in hoogzuivere gassen en elektronische industriële gassen, zui kleine detectieconcentratie kan tot 5ppb. Het instrument is uitgerust met een hooggevoelige helium-ionisatie-detector, met behulp van de centrale snijtechnologie van Huaei Inc.*, en de invoerklepen zijn uitgerust met invoerklepen met beschermende luchtwegen; De hele machine is ontworpen met meerdere kolommen, verschillende chromatografische kolommen kunnen de temperatuur afzonderlijk regelen, zui optimaliseert de afscheidingsomstandigheden tot het maximum en maakt het gemakkelijk om verschillende chromatografische kolommen afzonderlijk te verouderen en het onderhoud van het instrument te vergemakkelijken; Het instrument is uitgerust met een automatisch correctiesysteem voor de invoerdruk om de analysefouten te overwinnen die worden veroorzaakt door verschillende basegassen als gevolg van verschillende moleculaire gewichten.

Eén,GC-9560-HG Silicaananalyse Helium IonisatiegaschromatometerPrestatievoordelen:
De gasindustrie is de basisindustrie van de nationale economie, het "bloed" van de industriële productie, en met de snelle ontwikkeling van de nationale economie groeit de vraag naar gas voor hoge zuiverheid en de elektronische industrie ook snel. De detectie van sporen van onzuiverheden is een belangrijk onderdeel van de productie van hoogzuivere gassen en elektronische industriële gassen, en de analyse van sporen van onzuiverheden is altijd het probleem van chromatografische analyse geweest, en traditionele chromatografische detectoren zoals thermische geleiding zijn niet geschikt voor hoogzuivere gasanalyse.
De pulse discharge helium ionisatie detector (PDHID) is een zeer gevoelige universele type detector met een hoge respons op bijna alle anorganische en organische verbindingen en is vooral geschikt voor de analyse van hoogzuivere gassen en is een detector die * kan detecteren tot het niveau ng / g (ppb). De nieuw ontwikkelde nationale normen bepalen dat de vervanging van de oorspronkelijke thermische geleiding en andere detectoren met behulp van helium-ionisatie-detectoren, de belangrijkste opstellingstaak van de nationale norm "Gasanalyse helium-ionisatie gaschromatografie" wordt ook ontwikkeld en zal binnenkort officieel worden bekendgemaakt en geïmplementeerd.

PDHID-detectiegrenzen voor gasonzuiverheden in silicaan (ppb)

Twee,GC-9560-HGDe systeemconfiguratie:

(1) GC-9560-HG helium ionisatie gaschromatometer (2) helium ionisatie detector (PDHID)

(3) Centraal snijsysteem (4) Elektronisch gasbemonsteringssysteem

(5) Zuurstofadsorptie- en reductiesysteem (6) Heliumzuiver

(7) drukverminderende klep voor het transport van gas (8) speciaal monsterneming klep zonder dode volume
(9)Draaggasfilter (10)Steekproeffilter

(11) Chromatografische kolommen (12) Standaardgassen
(13) Hoge zuiverheid helium (zuiverheid > 99,999%) (14) GC-9560V4.0 versie anti-controle chromatografie werken

• Centrale snijtechnologie voor volledige gasanalyse:
  De GC-9560-HG helium-ionische gaschromatograaf maakt gebruik van een centrale knip- en tegenblaastechnologie met meerdere kleppen en meerdere kolommen. Het systeem bestaat uit een combinatie van meerdere knipkleppen en meerdere chromatograaf die het proces van monsterinvoer, schakelen, snijden en tegenblaas automatisch regelen via een tijdschema dat is ingesteld op het werkstation.

• Blaasventiel van tien wegen
  GC-9560-HGHet is uitgerust met originele import VICI geproduceerd met beschermende luchtwegen van het type tien-doorgang klep, het klepvlak is altijd in de atmosfeer van het gas, om te voorkomen dat de monster wordt ingevoerd en de lucht in het monster wordt ingetrokken bij het schakelen, om de detectiegevoeligheid en nauwkeurigheid sterk te verbeteren.
• Speciale bewerkte chromatografische kolomtechnologie
  (1) chromatografische kolom buis met 316L roestvrij staal materiaal, en de buis binnenwanden zijn gepassiveerd behandeld, het voorkomen van adsorptie en koolmonoxide vertraging en andere problemen
  (2) chromatografische kolom dragers zijn speciaal behandeld om zuurstof adsorptie en andere problemen te voorkomen
  (3) De voorgesneden kolom maakt gebruik van Huai chromatografie om de technologie van de micro-vulkolom van het land te verkrijgen, om de scheiding van het monster volledig te verbeteren, met inachtneming van scheiding, stabiliteit en snelheid

• Scheidingssysteem met meerdere kolommen
  De vormen van het gasmonster zijn uiteenlopend en de verscheidenheid aan onzuiverheden vereist een combinatie van verschillende chromatografische kolommen om de scheiding van alle onzuiverheden in het gasmonster te voltooien. Omdat de optimale werktemperatuur van verschillende chromatografische kolommen verschilt, is het moeilijk om een optimale werktemperatuur te vinden die tegelijkertijd geschikt is voor het werken met verschillende chromatografische kolommen in dezelfde kolombox. De GC-9560-HG is ontworpen met meerdere kolommen om het probleem op te lossen dat verschillende chromatografische kolommen verschillende werktemperaturen vereisen.
  Bij het dagelijks onderhoud van het instrument, omdat de activeringstemperatuur van de chromatografische kolom van verschillende dragers, zoals 5A moleculaire zeef, verschilt, moet de chromatografische kolom die niet verdraagt hoge temperaturen worden verwijderd als het verouderen in dezelfde kolombox, en vervolgens afzonderlijk worden geactiveerd. Het ontwerp van de GC-9560-HG met meerdere kolommen kan het bovenstaande probleem effectief oplossen en de verschillende chromatografische kolommen kunnen afzonderlijk worden geactiveerd in verschillende kolommen, waardoor het probleem van het demonteren van de chromatografische kolommen tijdens het dagelijks onderhoud van instrumenten wordt voorkomen.
• HP-2 heliumpurifier:
  GC-9560-HGMet behulp van hoogzuiver helium als draaggas heeft de zuiverheid van helium een directe invloed op de detectiegevoeligheid van het hele instrument voor onzuiverheden. De proeven hebben aangetoond dat de zuiverheid van het voergas dat wordt gebruikt voor de analyse van hoge zuiverheid ten minste een groottegraad hoger is dan de zuiverheid van de basis van het gasmonster.
  HP-2 type helium zuivering is een speciale gaszuivering geproduceerd door VICI, de zuivering matrix is een niet-vluchtige adsorberende legering, het oppervlak van de adsorberende deeltjes heeft een laag oxide film moet worden geactiveerd door verwarming, het activeringsproces moet worden voltooid in een vacuüm of inerte gasomgeving, zodat het helium zich vrij kan verspreiden tussen hen, de vorming van zuurstofzuiveringslaag kan voorkomen en de adsorptie van onzuiverheden kan worden uitgevoerd. De adsorberende materialen van HP hebben een goede thermische stabiliteit en omvatten twee temperatuurregelbereiken.
  Zuiverbare gassen: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Grote werkdruk: 1000psi
  Verwijdering van gas: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Wacht even.
  Restconcentratie: ≤10ppb
• Proefdrukcorrectiesysteem
  De traditionele chromatometer gebruikt de methode om de stroom te regelen bij de uitgang van de invoerklep om het invoervolume in de kwantitatieve buis te regelen, en de proeven hebben bewezen dat deze methode een grote analysefout heeft.
  Neem bijvoorbeeld de analyse van hoogzuiver waterstofgas: het standaardgas is geconfigureerd met zes onzuiverheden in helium, terwijl het monstergas zes onzuiverheden in waterstofgas is; Omdat het moleculaire gewicht van helium en waterstof verschilt, is de invoer van monsters bij dezelfde stroom niet *.
  GC-9560-HGUitgerust met een drukcorrectiesysteem om het probleem te overwinnen dat de hoeveelheid monsters niet * wordt veroorzaakt door verschillende ondergrondse gassen, om de nauwkeurigheid van de gegevens te verzekeren.
• Geen dode volume monsterneming klep
  GC-9560-HG is uitgerust met een speciaal monsterneming klep zonder dode volume, met behulp van een monsterneming met blaasbescherming, om effectief het probleem van luchtresiduen te vermijden en het effect van het monsternemingsproces op de analyse te verminderen tot een laag zui-niveau.
• Drukdrukklep voor gas
  Gewone drukverminderingsklep vanwege de aanwezigheid van een groot aantal dode volumes, heeft een directe invloed op de zuiverheid van het draaggas na de uitgang van de drukverminderingsklep, waardoor de concentratie van de huidige onzuiverheden in het draaggas zeer hoog is, waardoor de detectiegrens van het hele systeem wordt beïnvloed.
  De GC-9560-HG helium-ioniseerde gaschromatometer is uitgerust met een volledig roestvrijstalen gasdragende drukverminderingsklep met een drukreguleringsfunctie van twee niveaus, die de drukstabiliteit sterk verbetert en de stabiliteit van de basislijn garandeert, terwijl het dode volume in het kleplichaam wordt verminderd en de detectiegevoeligheid verder wordt verbeterd.

GC-9560-HGAnalyse van effecten: